(1) 洗浄效果高:本装置的洗浄槽里装有超声波洗浄装置。因使用炭化水素系洗浄液的超声波效果很弱，所以洗净槽安装抽真空系统，使超声波能力增强。在真空中（10 Kpa～大気圧）对工件进清洗，盲孔中的气泡被排出，洗浄液可进入盲孔中对其清洗。在真空中洗浄液中的气体被脱气，使超声波能力增强。
在真空状态下,工件盲孔和细小缝隙中的空气都被抽出,使溶液完全浸入工件的每个部位,清洗更彻底.真空状态也对溶液脱气,使超声波效率提高。
三、溶剂再生使用:真空清洗干燥机采用多段式真空蒸馏再生装置,使清洗槽中溶解了油污的清洗溶液不断地抽入蒸馏装置,在真空中加热蒸发,再经过冷凝成为清洁溶剂回到清洗槽中,使清洗液始终保持清洁状态.油污则留在蒸馏装置底部,定期排出。
五、安全性高:真空清洗干燥机通过使用防爆电机、防爆开关、导热油间接加热、可燃气体浓度报警、机门自动封闭、电源自动切断及自动灭火等装置确保使用安全。碳氢清洗机的洗浄槽里，安装溶剤冷却装置、排气装置、泵、马达带有防爆装置，电控箱、中继箱里接入压缩空气，使其与外界隔离。真空蒸气洗浄乾燥槽虽然是使用炭化水素洗浄液蒸气，但是碳氢清洗机在真空中的状态下，氧气浓度降低，确保了安全性。真空泵使用安全性高的液封式真空泵。抽真空之时的洗浄液的雾气及蒸气通过气液分离进行冷凝回收，因此降低了排气的浓度。（爆炸下限浓度25%以下）本机装有二氧化碳自动灭器。